SY供四探針測試儀（手動帶軟件） 型號:TZ24-RTS-8庫號：M406398

SY供四探針測試儀（手動帶軟件） 型號:TZ24-RTS-8庫號：M406398

技　術　指　標 ：

測量范圍

電阻率：10-5～105 Ω.cm(可擴展)；

方塊電阻：10-4～106 Ω/□(可擴展)；

電導率：10-5～105 s/cm；

電阻：10-5～105 Ω；

可測晶片直徑

140mmX150mm(配S-2A型測試臺)；

200mmX200mm(配S-2B型測試臺)；

400mmX500mm(配S-2C型測試臺)；

恒流源

電流量程分為1μA、10μA、μA、1mA、10mA、mA六檔，各檔電流連續可調

數字電壓表

量程及表示形式：000.00～199.99mV；　　　　

分辨力：10μV；

輸入阻抗：>0MΩ；

：±0.1% ；

SY供四探針測試儀（手動帶軟件） 型號:TZ24-RTS-8庫號：M406398

顯示：四位半紅色發光管數字顯示；性、量程自動顯示；

四探針探頭基本指標

間距：1±0.01mm；

針間緣電阻：≥0MΩ；

機械游移率：≤0.3%；

探針：碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm；

探針壓力：5～16 牛頓(總力)；

四探針探頭應用參數

(見探頭附帶的合格證)

模擬電阻測量相對誤差

( 按JJG508-87進行)

0.01Ω、0.1Ω、1Ω、10Ω、Ω、0Ω、00Ω≤0.3%±1字

整機測量大相對誤差

(用硅標樣片：0.01-180Ω.cm測試)≤±5%

整機測量標準不確定度

≤5%

測試模式

可連接電腦測試也可不連接電腦測試

軟件功能（選配）

軟件可記錄、保存、打印每一點的測試數據，并統計分析測試數據大值、小值、平均值、大變化、平均變化、徑向不均勻度、并將數據生成直方圖，也可把測試數據輸出到Excel中，對數據進行各種數據分析。軟件還可選擇自動測量功能，根據樣品電阻大小自動選擇適合電流量程檔測試。

計算機通訊接口

并口，高速并行采集數據，連接電腦使用時采集數據到電腦的時間只需要1.5 秒（在 0.1mA、1mA、10mA、mA量程檔時）。

標準使用環境

溫度：23±2℃；

相對濕度：≤65%；

無高頻干擾；

無強光直射；

四探針測試儀主機一臺四探針測試臺一臺四探針探頭一個測試軟件（含測控模塊）

SY供四探針測試儀（手動帶軟件） 型號:TZ24-RTS-8庫號：M406398